產品介紹

所屬系列：CMR364 系列。

測量范圍：滿量程為 1hPa（1mbar/750mTorr），zui小測量值為 10??mbar（7.5×10?2mTorr）。

精度：測量值的 ±0.2%。

響應時間：30ms。

傳感器類型：采用陶瓷氧化鋁電容傳感器元件，可測量氣體的絕 對壓力，且與氣體類型或成分無關，無需查找表格和進行 氣體轉換計算。

連接方式：配備 KF16 法蘭。

兼容性：與 TPG361、TPG362 和 TPG366 普發真空計控 制 器兼容，需要搭配傳感器電纜使用，電纜長度有 3 米至 10 米可選。

輸出信號：通常為模擬信號輸出，可與多種控制系統連接，具體輸出信號類型可根據配套的控 制 器等設備確定。

工作環境：一般可在溫度 + 5℃至 + 55℃的環境中工作